純凈的SF6六氟化硫氣體雖然無(wú)毒，但在工作場(chǎng)所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過(guò)大會(huì )出現使人窒息的危險，設計戶(hù)內通風(fēng)裝置時(shí)要考慮到這一情況。

在電弧作用下SF6六氟化硫的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強烈的腐蝕性和毒性。因此在電力系統GIS等應用SF6的工作場(chǎng)所，要加裝SF6氣體泄漏監測設備，SF6氣體監測的主要方法有一下四種：

（1）電化學(xué)技術(shù)

電化學(xué)技術(shù)的原理是被檢測氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發(fā)生相應的化學(xué)反應，從而產(chǎn)生電信號的改變，以此來(lái)發(fā)現被檢測氣體。電化學(xué)技術(shù)其成本低、壽命長(cháng)、結構簡(jiǎn)單，可以連續工作的特點(diǎn)。

（2）高壓擊穿技術(shù)

電擊穿技術(shù)是從SF6在電力上的典型應用——作為絕緣氣體應用在GIS開(kāi)關(guān)柜中演變而來(lái)的。其工作原理是根據SF6氣體絕緣的特性，從置于被檢測空氣中的高壓電極間電壓的變化來(lái)判斷空氣中是否含有SF6氣體。因其結構相對簡(jiǎn)單，成本低，檢測精度相對高的特點(diǎn)。

（3）紅外光譜技術(shù)（IAC510）

紅外光譜吸收技術(shù)（又稱(chēng)激光技術(shù)）的原理是SF6作為溫室氣體，對特定波段的紅外光有很強烈的吸收特性。紅外光譜技術(shù)的特點(diǎn)是成本高，結構復雜，靈敏度高，不受環(huán)境的影響和干擾，對環(huán)境的溫度和濕度的變化所帶來(lái)的檢測誤差很小，由于其是采用主動(dòng)抽取測試點(diǎn)氣體的原理，帶來(lái)的效果是發(fā)現泄漏早，反應迅速。同時(shí)系統結構對工程實(shí)施中的布線(xiàn)也帶來(lái)了很大的方便。

（4）電子捕獲ECD原理

電子捕獲檢測器（electron capture detector)，簡(jiǎn)稱(chēng)ECD。 電子捕獲檢測器也是一種離子化檢測器，它是一個(gè)有選擇性的高靈敏度的檢測器，它只對具有電負性的物質(zhì)，如含鹵素、硫、磷、氮的物質(zhì)有信號，物質(zhì)的電負性越強，也就是電子吸收系數越大，檢測器的靈敏度越高，而對電中性（無(wú)電負性）的物質(zhì)，如烷烴等則無(wú)信號。